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CS200A 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器0-5sccm

CS200A 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器0-5sccm

簡(jiǎn)要描述:
CS200A 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器0-5sccm
線性 ±0.5% F.S.
響應(yīng)時(shí)間 ≤1sec
工作溫度范圍 (5~45)°C
耐壓 3MPa

產(chǎn)品時(shí)間:2018-03-08

訪問(wèn)量:705

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

生產(chǎn)地址:

CS200A 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器0-5sccm 

產(chǎn)品型號(hào) CS200-A型
產(chǎn)品類型 高精度型,快響應(yīng)型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
產(chǎn)品精度 ±0.35%F.S.(<35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重復(fù)精度 ±0.2% FS

CS200A 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器0-5sccm 
線性 ±0.5% F.S.
響應(yīng)時(shí)間 ≤1sec
工作溫度范圍 (5~45)°C
耐壓 3MPa
密封材料 氟橡膠Viton
輸入輸出信號(hào) (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
電源 ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
閥類型 常開(kāi)(流量量程≤30slm)或常閉
溫度系數(shù) Span: ≤±0.1% F.S./℃(≤30slm),Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零點(diǎn)飄移指標(biāo) <0.6%F.S. per year without autozero
電氣連接 Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作壓差范圍 (0.05~0.35) MPa (F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm),(0.2~0.45) MPa(30slm<F.S.)

 
漏率 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He)
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套1/8”(滿量程≤5slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產(chǎn)品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產(chǎn)品),雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”
表面化學(xué)成分 - 無(wú) -
表面粗糙度 25µinch
抗電磁干擾 CE
重量 1Kg

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